Funktionsintegrierende Elemente zur Strahlformung und Kohärenzbeeinflussung für UV-Mikroskopie und Materialbearbeitung

Für eine Vielzahl verschiedener Applikationen in der Optik ist eine definierte räumliche Verteilung eines beleuchtenden oder anregenden Strahlenbündels erforderlich. Eine Reihe unterschiedlicher Prinzipien stehen dafür bereits zur Verfügung, die Auswahl der optimal geeigneten Methode ist insbesondere auch von den Kohärenzeigenschaften der Quelle abhängig. Vor dem Hintergrund der Anwendung von Pulslasern in der UV-Mikroskopie und der Materialbearbeitung wurde ein neues Design auf der Grundlage interferenzlithografisch hergestellter Strukturen entwickelt und realisiert. Dabei gelingt es, mehrere der elementaren Funktionen, die der Strahlformer im konkreten Anwendungsfall leisten muss, wie integrierende Strahlformung, Beeinflussung der räumlichen Kohärenz der Quelle und die Funktion der Feldlinse, in nur einem effizient beugenden Element zu integrieren. Damit kann nicht zuletzt auch eine kompakte und kostengünstige Lösung erreicht werden.