Optimaler Einsatz und Kalibrierung von Autokollimatoren zur Formmessung mittels hochgenauer Deflektometrie.

Elektronische Autokollimatoren für die hochgenaue Winkelmessung finden in der Optik vielfältigen Einsatz, bsp. in deflektometrischen Formmesssystemen. Die Grenzen der mit kommerziellen Geräten erzielbaren Messunsicherheiten sind dabei u.a. durch optimale Messbedingungen bei deren Gebrauch und durch die hochgenaue Kalibrierung unter genau definierten Bedingungen gegeben. Anhand des Autokollimators in der ESAD-Anlage der PTB zur Topographiemessung optischer Planflächen mit Messunsicherheiten von unter einem Nanometer werden jene Aspekte der Autokollimatorenanwendung und -kalibrierung im Detail beleuchtet, welche für die hochgenaue Winkelmessung in der Deflektometrie besonders relevant sind. Diese betreffen die optimale Positionierung von Autokollimator, Aperturblende und Prüflingsoberfläche, wie auch die Justage der optischen Komponenten im deflektometrischen Aufbau relativ zu den Messachsen des Autokollimators. Damit kann eine maximale Fehlerreduktion bei der Winkelmessung erzielt werden, um die geradlinige Ausbreitung des Messstrahls als natürliche Referenz zu nutzen, sowie die optimale Rückführbarkeit der Messgrößen auf die SI-Einheiten erreicht werden.