Vermessung von Spiegeloberflächen mit großen Krümmungsradien

DIOPTIC GmbH

schneider@dioptic.de

Abstract

Die DIOPTIC GmbH stellt ein modulares Erweiterungskit zur interferometrischen Vermessung von sphärischen Spiegeloberflächen mit großen Krümmungsradien vor. Die sphärische Prüfwelle wird durch Kombination einer Diffraktiven Fizeau Null Linse (DFNL) [1] und eines Achromaten erzeugt. Durch Variation des Abstandes zwischen der DFNL und dem Achromaten ist der Krümmungsradius R der Prüfwelle in einem weiten Bereich durchstimmbar. Der Messbereich reicht für konkave Oberflächen von R=1m bis 350m und für konvexe Oberfächen von R=1,5m bis 350m. Dieser Messbereich schließt damit an den Messbereich an, der typischerweise durch konventionelle Radienmesstechniken abgedeckt werden kann. Das Erweiterungskit ist kompatibel zu allen marktgängigen Interferometern. [1] J.-M. Asfour, A. G. Poleshchuk: Asphere testing with a Fizeau interferometer based on a combined computer generated hologram, DGaO 2006, P29

Keywords

Messtechnik Interferometrie Diffraktive Optik
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@inproceedings{dgao108-a5, title = {Vermessung von Spiegeloberflächen mit großen Krümmungsradien}, author = {S. Schneider, F. Weidner, J.-M. Asfour}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 108. Jahrestagung}, year = {2007}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Talk A5} }
108. Annual Conference of the DGaO · Heringsdorf · 2007