Kalibriermöglichkeiten von diffraktiven Null-Linsen für Durchlichttests asphärischer Komponenten

Für die Prüfung asphärischer Oberflächen werden Auflichttests mit Hilfe diffraktiver Null-Linsen im doppelten Durchgang verwendet. Dazu wurden Kalibrierverfahren vorgeschlagen, die von der absoluten Sphärenprüfung abgeleitet werden können. Asphärische Komponenten werden im Allgemeinen für sich meist keine stigmatische Abbildung in optischen Systemen vermitteln. Deshalb erscheint eine Prüfung im Durchlicht unter Einsatz diffraktiver Null-Linsen sinnvoll. Ähnlich wie bei Auflichttests werden die Aberrationen des Interferometers, des diffraktiven Trägermaterials und die Strukturierungsfehler bei der lithographischen Aufzeichnung stören. Hier wird in Anknüpfung an frühere Versuche eine Kalibrier-Prozedur für diffraktive Null-Linsen zur Durchlichtprüfung nicht-stigmatischer asphärischer Komponenten mit zwei Grenzflächen angegeben und die Konsequenzen die interferometrische Anordnung und für die Justierung im Einzelnen betrachtet.