InSitu-Aspherometer: Prüf- und Fertigungsverfahrenslösung zur interferometrisch gesteuerten Herstellung großflächiger Hochpräzisionsasphären

Die DIOPTIC GmbH entwickelt in Zusammenarbeit mit der LT Ultra GmbH und dem russischen Institute of Automation and Electrometry (IAE) im Rahmen eines Eureka-Projekts eine neuartige interferometrische inprozeß-Meßlösung zur berührungslosen Geometrieprüfung an asphärischen Metalloptiken während des Ultrapräzisionsbearbeitungsprozesses. Herzstück ist die Entwicklung eines kompakten Fizeau-Interferometers, das direkt in die Maschine integriert wird. Dadurch entfallen bei der Fertigung zeitintensive Ein- und Ausspannvorgänge des Werkstücks zur Prüfung. Zur Asphären-Prüfung kommen patentierte Diffraktive Fizeau Null Linsen (DFNL) [1] zum Einsatz. Diese erzeugen die asphärische Test- sowie die Referenzwellenfront an derselben, letzten optischen Oberfläche, wodurch das Fizeau-Prinzip perfekt erfüllt ist. Ein weiterer Vorteil ist die universelle Einsetzbarkeit des Verfahrens, da es die Prüfung vielfältiger Formen (Kegelschnitte, konkave und konvexe Asphären und Freiformflächen) über einen weiten Bereich an f-Zahlen und Durchmessern erlaubt. [1] J.-M. Asfour, A. G. Poleshchuk: Asphere testing with a Fizeau interferometer based on a combined computer generated hologram, DGaO 2006, P29