Messplatz zur Prüfung optischer Freiformen mit Streifenprojektion und Datenanalyse mittels Waveletfilterung
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
peter.kuehmstedt@iof.fraunhofer.de
Abstract
In vielen industriellen Anwendungsgebieten steigen die Anforderungen an die Qualität der Produkte. Dies betrifft auch die Formgenauigkeit beim Herstellen von optischen Freiformflächen und Werkzeugen zu deren Herstellung im Mikrometerbereich. Es wurde ein Messplatz zur Prüfung optischer Freiformen entwickelt, der zur Qualitätsprüfung von optischen Freiformen und anderen Messobjekten bis zu einer Größe von ca. 230 mm x 230 mm x 100 mm und Oberflächengradienten bis 90° dient. Mit dem Messsystem kann einerseits überprüft werden, ob das Messobjekt in seiner Oberflächenform metrisch den Sollvorgaben entspricht und andererseits können Fehler in der Oberfläche, wie z.B. lokale Bearbeitungsartefakte detektiert und vermessen werden. Im Gerät kommt ein Sensorsystem mit selbstkalibrierender Streifenprojektionstechnik zum Einsatz. Die lokale Datenanalyse zur Detektion der Form und von Oberflächenfehlern und adaptiven Rauschminderung wird mittels einer neuen Methode der Waveletfilterung erreicht. Um die hohen Genauigkeiten bei der Bestimmung von Absolutmaßen zu erreichen, wurde weiterhin ein neues Korrekturverfahren zur Kompensation von optischen Verzeichnungen im 3D-Raum entwickelt.
Keywords
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