Durchstimmbare Fabry-Perot Filter mit InP/Luft DBR-Spiegeln. Optical MEMS Technologie für Photonik und Spektroskopie.

Durchstimmbare Fabry-Perot Filter bieten zahlreiche Anwendungsmöglichkeiten in den Gebieten Meß-, Laser- und Informationstechnik. Die von uns vorgestellten Filter bestehen aus zwei InP/Luftspalt DBR-Spiegeln, die eine λ/2 oder λ Kavität einschließen. Durch den hohen Brechungsindexkontrast von 2.17 zwischen Luft und InP ergibt sich an den DRB-Spiegeln schon nach 2.5 Perioden eine Reflektivität von >99.5%. Die Kavitätswellenlänge wird durch elektrostatische Aktuation der Spiegel durchgestimmt. Zur Herstellung solcher Strukturen werden Prozeße der Mikro- und Nanotechnologie eingesetzt. Insbesondere müssen mechanische Verspannungen der Schichten schon bei der Epitaxie berücksichtigt werden. Durch die Wahl des Materialsystems InP können optoelektronische Bauelemente im IR Bereich um 1.5µm realisiert werden, der sowohl für die optische Nachrichtentechnik, als auch für Meßtechnik und Spektroskopie interessant ist. Solche Filter sind durch Integration von Detektorstrukturen oder aktiven Medien sowie Strukturierung der Filterfläche mit z.B. Photonische Kristallen in ihrer Funktionalität vielseitig erweiterbar.