Modifiziertes Phasenkontrastverfahren für die Aufnahme von holographisch-optischen Bauelementen

Fachgebiet Technische Optik, Technische Universität Ilmenau

marcel.teschke@tu-ilmenau.de

Abstract

Holographisch-optische Bauelemente (HOEs) können z.B. im Hinblick auf die erreichbaren Beugungseffizienzen und den kostengünstigen Herstellungsprozess entscheidende Vorteile zu quantisierten diffraktiven Bauelementen bieten. Eine Umwandlung in replizierbare analoge Oberflächenprofile ist mit Hilfe der holographischen Lithographie möglich. Durch eine „künstliche“ Erzeugung der Objektwellenfront, d.h. durch Umkopieren computergenerierter Hologramme (CGH) kann außerdem eine hohe Flexibilität in der Funktionalität der HOEs erreicht werden. Wir präsentieren ein modifiziertes Phasenkontrastverfahren ohne spatialen Fourierfilter, welches die Herstellung von HOEs mit on-axis Beugungsbildern ermöglicht. Dadurch können bei der Rekonstruktion der HOEs Lichtverluste und Störungen durch Zwillingsbilder vermieden werden.

Keywords

Optische Systeme Mikrolithografie Holografie
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@inproceedings{dgao108-b19, title = {Modifiziertes Phasenkontrastverfahren für die Aufnahme von holographisch-optischen Bauelementen}, author = {M. Teschke, S. Sinzinger}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 108. Jahrestagung}, year = {2007}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Talk B19} }
108. Annual Conference of the DGaO · Heringsdorf · 2007