Interferometrische Prüfung von Umlenkprismen

Um die Baulängen von optischen Komponenten kurz zu halten bietet es sich an, den Strahlengang mittels Umlenkprismen zu falten. Als weiterer Bestandteil des Strahlenganges ist damit natürlich eine optische Prüfung der Prismen unerlässlich. Im vorliegenden Fall bietet sich ein interferometrisches Prüfverfahren an. Dieses Verfahren erlaubt es, neben den Winkelfehlern gleichzeitig auch die durch das Prisma herbeigeführte Wellenfrontdeformation zu ermitteln. Da hier rechteckige Prüfbereiche vorliegen, erfolgt die Auswertung mit Hilfe von Legendre – Polynomen. Das vorgestellte Verfahren eignet sich aufgrund der kurzen Justage- und Messzeiten sehr gut für die Vermessung von großen Serien. Die Messwerterfassung erfolgt dabei vollautomatisch. Eine optimale Qualitätskontrolle ist gewährleistet.