Anwendung eines Siemenssterns als Kalibriernormal?

Im Rahmen des Projektes „Kalibriernormal II“ wurden verschiedene Teststrukturen auf einem Wafer realisiert, die zur Kalibrierung und zur Auflösungskontrolle von hochauflösenden optischen Instrumenten, wie DUV-Mikroskopen, Konfocalen Laser Scanning Mikroskopen und AFM-Geräten dienen sollen. Das nanoskalige Kalibriernormal besteht aus 1-dim. Liniengitter und 2-dim. Kreuz- und Kreisgittern. Im folgenden soll die Frage untersucht werden, ob es sinnvoll ist die Teststrukturen durch eine weitere Struktur, den sogenannten „Siemensstern“ zu ergänzen. Der Siemensstern ist eine weitverbreitete Teststruktur zur Beurteilung von Auflösung und Fokuszustand eines optischen Abbildungssystems. Die Abbildung eines Siemenssterns unter dem Einfluss von partiell kohärenter Beleuchtung und Defokussierung wird untersucht. Im Resultat zeigt sich, dass der Siemensstern als ein Objekt mit variabler Ortsfrequenz geeignet ist, sich einen schnellen Überblick das Abbildungseigenschaften des optischen Systems zu verschaffen. Eine messtechnische Verifizierung scheint jedoch schwieriger als bei den vorhandenen Strukturen.