Ultrapräzisionsbearbeitung
Labor für Mikrozerspanung LFM, Universität Bremen
Abstract
Die Ultrapräzisionsbearbeitung umfasst zerspanende Fertigungsverfahren zur Erzeugung hochgenauer, in der Regel optischer Bauteile. Das Innovationspotenzial der Ultrapräzisionsbearbeitung resultiert aus der Vielfalt herstellbarer Oberflächenformen von einfachen und komplexen kontinuierlichen bis hin zu strukturierten Optikelementen. Dies geschieht bei gleichzeitiger Einhaltung hoher geometrischer Genauigkeit (relative Formabweichungen < 10^-6) und Erzeugung niedriger Rauheitswerte (Ra < 10 nm) und prädestiniert damit für die Optikfertigung. Der Werkstückgrößenbereich umspannt dabei vier Zehnerpotenzen. Haupttechnologie ist das gesteuerte Formen durch trennende Fertigungsverfahren auf hochgenauen Werkzeugmaschinen. Es werden dabei vornehmlich Nicht-Eisen-Werkstoffe mit monokristallinen Diamantwerkzeugen durch Dreh und Fräsverfahren bearbeitet. Weitere Werkstoffklassen wie optische Gläser oder spröd-harte Materialien lassen sich durch ultrapräzises Schleifen für den optischen Formenbau erschließen.
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