Schnellere Weisslichtinterferometrie durch Unterabtastung

Steigende Anforderungen an das Orts-Bandbreiteprodukt (~auflösbare Pixelzahl x Messgeschwindigkeit) bringen die Weisslichtinterferometrie (WLI) an ihre technologischen Grenzen. Wir stellen eine Modifikation der WLI vor, mit der die Informationseffizienz um mehr als das vierfache gesteigert werden kann. Die Abtastrate eines Messsignals ist im Allgemeinen durch die Nyquistfrequenz beschränkt. Wegen der schmalen Bandbreite lassen sich jedoch auch stark unterabgetastete Signale perfekt rekonstruieren. Damit können Messdaten mit wesentlich weniger Rohdaten als bisher analysiert werden. Mit dem reduzierten Datenvolumen kann entweder die Auflösung oder die Messgeschwindigkeit erhöht werden. Wir untersuchen die Vor- und Nachteile dieser (an sich bekannten) Idee. Durch Simulationen werden die auftretenden Fehler und die Anforderungen an die Abtastung abgeschätzt, sowie optimale Abtastraten ermittelt. Anhand von Messungen an aussagekräftigen Objekten werden die simulierten Ergebnisse bestätigt.