Flexibler Asphärentest mit Membranspiegeln: Wellenfrontskalierung durch Mehrfachreflexion
Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart
Abstract
Mit adaptiven Membranspiegeln können hochgenau asphärische Wellenfronten erzeugt werden, was für die flexible interferometrische Vermessung von Asphären genutzt werden kann. Allerdings ist die Dynamik, das heißt die maximal erreichbare asphärische Deformation limitiert. Es wird ein Verfahren vorgestellt, das die asphärische Deformation des Membranspiegels über Mehrfachreflektion in eine asphärische Wellenfront umsetzt, die ein Vielfaches der Deformation des Membranspiegels beträgt. Die gezielte Selektion der gewünschten Anzahl an Reflektionen wird durch die Kombination einer kurzkohärenten Lichtquelle mit einer Vorschaltkavität erreicht. Der Versuchsaufbau wird erläutert und experimentelle Ergebnisse werden präsentiert.