Rigorose Modellierung der Wechselwirkung optischer Strahlung mit stochastisch nanostrukturierten PMMA-Oberflächen

Physikalisch-Technische Bundesanstalt Braunschweig; 2Fresnel Optics GmbH, Apolda

gerd.ehret@ptb.de

Abstract

Durch stochastische Strukturierung von PMMA-Oberflächen z.B. mittels Ionenbeschusses lassen sich deren optische Eigenschaften gezielt ändern. So haben Messungen gezeigt, dass man die optische Grenzflächenreflexion von 4% breitbandig durch eine Nanostrukturierung auf 0.5% reduzieren kann. Ein wesentlicher Vorteil der Nanostrukturierung durch Ionenbeschuss ist, dass er auf beliebig geformte Oberflächen wie z.B. Mikrolinsen oder Fresnellinsen angewendet werden kann. Für das Verständnis der optischen Wirkung dieser stochastischen Nanostrukturierung fehlen jedoch entsprechende Modelle. Anhand von stochastischen Geometriegrößen und rigoroser Modellierung mit finiten Elementen wird ein Modell vorgestellt, das es erlaubt, die optische Wirkung einer stochastisch nanostrukturierten Oberfläche verstehen zu können. Die Ergebnisse der rigorosen Modellrechnungen werden mit Reflexions-, Transmissions- und Streulichtmessungen verglichen. Für die Bestimmung der Geometriegrößen wurden REM-Aufnahmen ausgewertet.

Keywords

Oberflächen Nanotechnologie Beugungstheorie
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@inproceedings{dgao108-p4, title = {Rigorose Modellierung der Wechselwirkung optischer Strahlung mit stochastisch nanostrukturierten PMMA-Oberflächen}, author = {G. Ehret, E. Buhr,A. Höpe,M. Gebhardt,H.-M. Bitzer}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 108. Jahrestagung}, year = {2007}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Poster P4} }
108. Jahrestagung der DGaO · Heringsdorf · 2007