Chromatische Aberrationen in der Weißlichtinterferometrie

Die Weißlichtinterferometrie ist inzwischen als hochgenaues, optisches Messverfahren zur Bestimmung der Topografie mikroskopischer Objekte weit verbreitet. Durch Verwendung einer kurzkohärenten Lichtquelle kann die Höhe jedes einzelnen Objektpunktes absolut bestimmt werden. Die Weißlichtinterferometrie ist somit auf universelle Weise für ein großes Spektrum unterschiedlicher Objekte einsetzbar. Durch Einbeziehung der Phase in die numerische Auswertung können idealerweise vertikale Auflösungen von bis zu 0,1 nm erreicht werden. Treten im optischen Strahlengang jedoch chromatische Aberrationen auf, so können sich systematische Messabweichungen ergeben. Diese Messabweichungen treten insbesondere bei geneigten, spiegelnden Objekten auf. Anhand von Messungen und Simulationen soll dieser Zusammenhang näher analysiert werden. Im Ergebnis dieser Analyse werden auch Möglichkeiten zur Reduktion dieser Effekte aufgezeigt.