Interferometrischer Quasiabsoluttest von Asphären unter Zuhilfenahme einer wellenfrontselektiven Maske

Interferometrische Kalibrierverfahren werden eingesetzt, um die Formabweichungen des Prüfobjekts von den systematischen Aberrationen des Interferometers zu trennen. Eine Möglichkeit zur Absolutprüfung asphärischer Oberflächen ist die Übertragung des bekannten 3-Stellungstests für Sphären auf Asphären mittels eines COMBO-DOE, das neben der asphärischen Prüfwelle eine sphärische Hilfswelle für die Katzenaugenposition erzeugt. Die Trennung der beiden Wellenfronten kann über eine zusätzliche Trägerfrequenz der sphärischen Welle erreicht werden, was allerdings zu einem Unterschied in den lithographischen Strukturierungsfehlern führt und damit die erreichbare Absolutgenauigkeit beeinträchtigt. Hier wird vorgeschlagen, die Wellenfronten mit Hilfe einer wellenfrontselektiven Maske, d.h. eines schaltbaren Amplitudengitters, zu trennen, um den Unterschied in den lithographischen Strukturierungsfehlern zu minimieren.