Direkte Kalibrierung flächenmessender Interferometer mit dem TMS-Verfahren

Die Kalibrierung von flächenmessenden Interferometern erfolgt in der Regel mittels kalibrierter Referenzflächen. Dies erfordert allerdings die Verfügbarkeit eines hinreichend stabilen Kalibrierkörpers, der rückgeführt werden muss. Besonders bei großen Interferometern stellt dies ein Problem dar. Das in der PTB entwickelte TMS (Traceable Multi Sensor) Verfahren kann auch zur direkten Ermittlung des Interferometerfehlers und damit zur Kalibrierung eingesetzt werden. Dabei wird eine nahezu beliebige Fläche senkrecht zur optischen Achse des Interferometers verschoben. Die Einzelpixel des Interferometers werden als gekoppelten Abstandssensoren genutzt und in Kombination mit dem Signal eines Autokollimators, der die Verkippung bei der Verschiebung registriert, ausgewertet. In dem Beitrag wird das TMS Prinzip im Hinblick auf die Interferometerkalibrierung vorgestellt, und es werden die damit erreichbaren Genauigkeiten untersucht.