Schnelle Absolutmessung von asphärischen Flächen

In einem Fizeau-Interferometer wird die zu messende Asphäre entlang der Symmetrieachse verschoben und es werden Phasenmesswerte gleichzeitig am Scheitel und an der Zone minimaler Streifendichte gewonnen. Der Vortrag wird aufzeigen, dass im Gegensatz zum "Stitching" hierbei die Flächenkoordinaten gewonnen werden, ohne dass sich die gemessenen Bereiche überlappen müssen. Da sowohl die radiale Koordinate h als auch die axiale Koordinate z nur aus Phasenmessungen gewonnen werden, spielen der Abbildungsmaßstab und die Verzeichnung des Abbildungsstrahlenganges des Interferometers keine Rolle. Außerdem werden die Messwerte jeweils nur dort gewonnen, wo die Streifendichte sehr gering ist (ca. 1/10 Nyquist), so dass sowohl die Modulation der Phasenmesswerte hoch ist als auch die durch "non-commen path" verursachten Fehler mininmal sind. Gemessen wird gegen die sphärische Fläche des Fizeau-Objektivs; wenn dieses zuvor absolut vermessen wurde, ist die Asphärenmessung absolut kalibriert. Mit diesem Verfahren, das ohne Kompensationselemente wie CGH oder Nulloptiken auskommt, können rotationssymmetrische Asphären in ca. 5-8 min gemessen werde, wobei die Justierung vollautomatisch erfolgt.