Planar integrierte freiraum-optische Systeme in Saphir/GaN für die Biosensorik
- 1Optical Engineering Group, Technische Universität Ilmenau
- 2Group of Nanotechnology, Technische Universität Ilmenau
- 3Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF, Fraunhofer Institute for Applied Solid State Physics IAF
stefan [dot] sinzinger [at] tu-ilmenau [dot] de
Das Konzept der planaren Optik ermöglicht die Integration ultrakompakter freiraum-optischer Systeme in transparenten Substraten. Neben den in der Vergangenheit vielfach eingesetzten Substraten wie Glas oder transparente Kunststoffmaterialien stellen transparente Halbleitermaterialien eine interessante Alternative dar. Gleichzeitig eröffnen die optischen und optoelektronischen Eigenschaften dieser Materialien neue Möglichkeiten für die hybride monolithische Integration ultrakompakter optoelektronischer Sensorsysteme. Wir demonstrieren die Integration eines planaren freiraum-optischen Abbildungssystems in Saphir/GaN. Durch die gleichzeitige Optimierung der Beugungseffizienzen der transparenten und reflektiven diffraktiven optischen Bauelemente gelingt eine signifikante Vereinfachung des lithographischen Herstellungsprozesses mit nur einer Strukturierungstiefe. Designüberlegungen, Optimierungs- und Herstellungstechnologien sowie experimentelle Ergebnisse werden diskutiert.
@inproceedings{hofmann2008b28,
author = {Hofmann, Meike Kristina and Hauguth-Frank, S. and Lebedev, Vadim and Ambacher, Oliver and Sinzinger, Stefan},
title = {{Planar integrierte freiraum-optische Systeme in Saphir/GaN für die Biosensorik}},
booktitle = {DGaO-Proceedings 2008},
series = {DGaO-Proceedings},
eventtitle = {109. Jahrestagung der DGaO},
eventdate = {2008-05-14/2008-05-17},
venue = {Esslingen},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
year = {2008},
pages = {B28},
langid = {ngerman},
url = {https://dgao-proceedings.de/paper/109-b28}
}