Einsatz der chromatisch-konfokalen spektralen Interferometrie (CCSI) zur Reduktion der Messunsicherheit bei chromatisch-konfokalen Topografiemessungen

Die chromatisch-konfokalen spektralen Interferometrie (CCSI) ist ein hybrides Verfahren zur Vermessung von 3D-Objekten ohne mechanischen Tiefen-Scan, basierend auf der Verwendung einer breitbandigen Lichtquelle mit anschließender spektraler Aufspaltung des Messsignals. Der Aufbau entspricht einem spektralen Interferometer (SI) mit einer zusätzlichen chromatischen Längsaufspaltung der Foki im Objektraum und einer anschließenden konfokalen Diskriminierung, analog zur chromatisch-konfokalen Mikroskopie (CCM), wodurch eine Entkopplung des Messbereichs von der Schärfentiefe erreicht wird. Dies ermöglicht den Einsatz von hochaperturigen Objektiven, weshalb bei der CCSI eine bessere laterale Auflösung erreicht wird als bei klassischen SI-Systemen. Ein weiterer Vorteil der CCSI ist, dass bereits bei geringer Intensität des Lichts im Messraum eine Signalverstärkung aufgrund der Interferenz zwischen Objekt- und Referenzwelle eintritt, die als Interferometric-Gain bezeichnet wird. Systematische Untersuchungen haben gezeigt, dass durch den Interferometric-Gain Messfehler an wenig kooperativen Messobjekten gegenüber CCM-Messungen reduziert werden.