Der Einsatz von Infrarot- bis Röntgenstrahlung zur optischen Messung von Mikro-Merkmalen

Durch die Vielzahl der einsetzbaren Sensoren bietet die Multisensor-Koordinatenmesstechnik umfassende Möglichkeiten zur Messung von Mikromerkmalen. Es werden dazu Sensoren vorgestellt, die das elektromagnetische Spektrum vom infraroten Licht bis zur Röntgenstrahlung verwenden. Dazu zählen Bildverarbeitungssensoren, konfokale Mikroskope, chromatische Sensoren, Laserabstandssensoren, optisch-taktile Sensoren, wie auch Computertomografiesensoren. Am Beispiel eines infraroten, chromatischen Sensors wird die Schichtdickenmessung an Wafern mit höchster Genauigkeit vorgestellt. An einem GaAs-Wafer ermittelte Schichtdicken weisen maximale Abweichungen zum Kalibrierwert von ca. 2 µm auf. Hohe Punktedichten zur genauen Messung von Mikromerkmalen werden mit Hilfe von Computertomografiesensoren erreicht. Die Präsentation zeigt Vergleichsmessungen, die Rückschlüsse auf die Genauigkeit und Rückführbarkeit der Messung verschiedener Mikromerkmale wie Einspritzbohrungen und Mikrozahnräder ermöglicht. Der Vergleich zu einer hochgenauen optisch-taktilen Messung zeigt, dass Mikromerkmale mit Genauigkeiten deutlich besser 1 µm gemessen werden können.