Diffraktives 2D-Shearing-Interferometer mit partieller räumlicher Kohärenz

Im letzten Jahr wurde von uns ein 2D Shearing-Interferometer vorgestellt, welches gleichzeitig beide orthogonalen Gradientenfelder mißt. Die Trennung der beiden Gradientenfelder wurde mittels Polarisationsindizierung ermöglicht. In dem hier vorgestellten Interferometer werden die Gradientenfelder ebenfalls gleichzeitig aber lateral getrennt aufgenommen. Zur Verdopplung der zu messenden Wellenfront und als Shearing-Einheit werden jeweils diffraktive Ronchi Phasengitter verwendet. Um die aus den höheren Beugungsordnungen resultierenden Störinterferenzen zu unterdrücken, wird zusätzlich mit einer partiell kohärenten Lichtquelle gearbeitet. Dabei muss der räumliche Kohärenzgrad der Lichtquelle allerdings an den Shear in beiden Achsen angepasst werden. Dies geschieht mit Hilfe einer zweidimensionalen periodischen Intensitätsverteilung der Lichtquelle.