Modellgestützte Rekonstruktion der Lage von dezentrierten Linsen in optischen Systemen

Hochleistungsoptiken wie Objektive für Lithographiesysteme setzen eine sehr genaue Positionierung der einzelnen optischen Elemente voraus. Dezentrierungen einzelner Linsen können beispielsweise die Abbildungsqualität deutlich verschlechtern und damit Defekte in den gefertigten Strukturen hervor rufen. Eine Bestimmung der Dezentrierungen aller Elemente des Systems würde eine adaptive Korrektur von Fehlstellungen über Aktuatoren ermöglichen. Die Rekonstruktion der Linsenstellungen aus Daten über die Wellenfrontaberrationen an verschiedenen Punkten im Sichtfeld des Objektivs erfolgt dabei modellbasiert ausgehend vom ungestörten System. Für die Rückrechnung werden die Wellenfrontfehler linearisiert. Unsere Simulationen zeigen, dass die Rekonstruktion der Linsenstellungen in komplexen Systemen mit dieser Technik ermöglicht werden könnte.