Abschätzung des DOE Streulichtanteils mit skalaren Formeln und deren Gültigkeitsbereich - wie weit tragen diese?
Konzernfunktion Forschung und Technologie, Carl Zeiss AG, 73446 Oberkochen
Abstract
Diffraktive optische Elemente (DOE) besitzen ein großes Potential zur Korrektur von Farblängs- und Farbquerfehlern in spektral breitbandigen Optiksystemen. Trotzdem werden DOEs zur Farbkorrektur in der Praxis eher selten eingesetzt. Hauptursache dafür ist das Streulicht, welches vom DOE in unerwünschte Beugungsordnungen gelenkt wird. Der Streulichtanteil hängt dabei neben der Wellenlänge auch vom Einfallswinkel, der Furchenbreite und von Fertigungsfehlern des Furchenprofils ab. In Standardbüchern zum Optikdesign wird auf die letztgenannten Abhängigkeiten kaum eingegangen. Unser Beitrages erlaubt es dem Optikdesigner, mit einem skalaren Formelsatz, schnell und relativ genau den Streulichtanteil eines DOEs abzuschätzen. Zusätzlich wird der Gültigkeitsbereich dieser Formeln bestimmt, indem die skalaren Ergebnisse mit den Effizienzen von elektromagnetisch-rigorosen Verfahren verglichen werden.