Drei-Stellungstest für Asphären: Steigerung der Genauigkeit

Präzise interferometrische Prüfung von optischen Flächen wird oft in einer Nulltest-Anordnung realisiert. Hochgenaue Messungen machen eine Absolutkalibrierung des Interferometers einschließlich der Null-Elemente erforderlich. Eine Möglichkeit für die Absolutkalibrierung von rotationssymmetrischen asphärischen Flächen stellt die Übertragung des etablierten Drei-Stellungstests für Sphären dar unter Zuhilfenahme von Hologrammen, die simultan eine asphärische Prüfwellenfront und eine zusätzliche sphärische Hilfswellenfront erzeugen. Das vorgeschlagene Kalibrierverfahren wurde bereits umgesetzt. In diesem Beitrag diskutieren wir den Einfluss von DOE-Substrat und von lithographischen Strukturierungsfehlern auf beide Wellenfronten. Darüber hinaus wird die Genauigkeit des Kalibrierverfahrens durch kohärentes Rauschen begrenzt. Es werden aber auch Maßnahmen zur weiteren Steigerung der Messgenauigkeit vorgestellt.