Aberrationen in der "Cat´s Eye"-Konfiguration bei hohen Aperturen

Leica Microsystems CMS GmbH, Ernst Leitz Strasse 17-37, 35578 Wetzlar (Germany)

Hans-Martin.Heuck@leica-microsystems.com

Abstract

Die "Cat´s Eye"-Konfiguration (Planspiegel im Fokus der Wellenfront) wird in der optischen Messtechnik eingesetzt um die Abbildungsqualität von Linsensystem zu bestimmen, so bei der Bestimmung des radial-symmetrischen Wellenfrontfehlers von Systemen mit dem bekannten n+1 Stellungs-Test. Die Winkelabhängigkeit der Phase der am ebenem Spiegel reflektierten Welle kann als scheinbare Wellenfront-Aberration interpretiert werden, die bei großen (halben) Öffnungswinkeln (> 50°) nicht mehr vernachlässigt werden kann. Diese Phase wird als Funktion von Einfallswinkel und Polarisation hergeleitet, und die zu erwartenden Aberrationen werden als Funktion Apertur (NA) des Systems und für verschiedene Materialien des Spiegels berechnet. Die theoretischen Vorhersagen werden mit interferometrischen Messungen von Wellenfronten eines Mikroskop-Objektivs (NA = 1.47) und eines Fizeau-Kondensors (NA = 0.96) verglichen.

Keywords

Messtechnik Prüfung optischer Systeme Interferometrie
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@inproceedings{dgao111-b28, title = {Aberrationen in der "Cat´s Eye"-Konfiguration bei hohen Aperturen}, author = {H.-M. Heuck, J. Wesner, J. Heil}, booktitle = {DGaO-Proceedings, 111. Jahrestagung}, year = {2010}, publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.}, issn = {1614-8436}, note = {Talk B28} }
111. Annual Conference of the DGaO · Wetzlar · 2010