Funktionsprüfung von Stereomikroskopobjektiven bei mehreren Wellenlängen mittes Shack-Hartmann Wellenfrontsensor

Vorgestellt wird ein Messsystem zur Prüfung von fokussierenden Optiken. Die Prüfung erfolgt im doppelten Durchgang. Durch den gewählten optischen Aufbau ist die Messung gut referenzierbar bzw. absolut kalibrierbar. Hierzu wird ein Planspiegel und eine Referenzsphäre benötigt. Eine Besonderheit des Systems ist der Einsatz eines Shack-Hartmann Wellenfrontsensors, wodurch die Messung über einen weiten Wellenlängenbereich möglich wird. Durch die Messung der Wellenfront bei verschiedenen Wellenlängen ist das chromatische Verhalten beispielsweise auch in Bezug auf PSF und MTF durch einfaches Umschalten der Lichtquelle schnell erfassbar. Gezeigt werden Beispielmessungen von hochaperturigen Stereomikroskopobjektiven bei 532nm und 635nm. Die Messung werden Ergebnissen, die an einem Zygo Interferometer erzielt wurden, gegenüber gestellt. Es wurde eine Übereinstimmung im Bereich λ/20 PV erreicht. Die Reprodzierbarkeit der Zernike-Koeffizienten unterscheidet sich in beiden Systemen nur minimal.