Absoluttest von rotationssymmetrischen Asphären mittels radialem Shearing
Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts, Erlangen ; 2 Institut für Optik, Information und Photonik, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen
Abstract
Für die Absolutkalibrierung von Asphären bietet sich die Verwendung von Nulltestgeometrien an. Kalibrierverfahren beruhen dabei auf Bewegungen des Prüflings relativ zum Interferometer, wobei nur solche Bewegungen infrage kommen, die den Prüfling wieder in eine Nulltestgeometrie überführen. Für rotationssymmetrische Asphären steht allerdings nur die Rotation um die Symmetrieachse des Prüflings als mögliche Bewegung zur Verfügung, was allein nicht ausreicht, um die Oberflächenabweichungen der Asphäre zu bestimmen. Unter Hinzunahme einer Hilfsposition, der sog. Katzenaugenposition, die mittels eines Zwei-Wellenfronten-Hologramms (COMBO-DOE) erzeugt wird, läßt sich zwar eine Kalibrierung durchführen, allerdings entstehen dabei anderweitige Nachteile. In diesem Beitrag wird ein Verfahren diskutiert, mit Hilfe eines COMBO-DOE eine zusätzliche, zur Rotation komplementäre Bewegung der Asphäre zu ermöglichen. Die Oberflächenabweichungen werden dabei relativ zum Interferometer radial gesheart. Auf diese Weise können die Oberflächenabweichungen der Asphäre ausschließlich über Nulltestpositionen absolut rekonstruiert werden; eine Katzenaugenposition muß nicht verwendet werden.
Keywords
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