Justageempfindlichkeit, Retrace-Effekte und Korrektur der Restfehler bei Fizeau-Kondensoren
Leica Microsystems CMS GmbH
joachim.wesner@leica-microsystems.com
Abstract
Bei erhöhten Anforderungen ist es nötig, Restfehler eines Fizeau-Kondensors mit dem "N+1"- oder dem "Random Ball"-Test zu bestimmen und abzuziehen. Dies ist aber zeitaufwändig, im ersten Fall ist speziell hohen Aperturen die "Cat´s Eye"-Messung problematisch, im zweiten Fall sollte eine Testkugel mit Radius nahe am Prüfling vorliegen ("Cavity Error"). Normalerweise wird angenommen, dass solche Eichdaten nur für eine bestimmte Einstellung des Interferometers (Focus, Zoom) brauchbar sind und dass mechanische Veränderungen zwischen der Bestimmung des Restfehlers und der Messung des Prüfling minimiert werden müssen. Bei leichter Verkippung des Kondensors gegen die Interferometerachse tritt z.B. ein besonderer "Retrace-Fehler" auf, der sogar bei Streifendichte Null nicht verschwindet. Wir untersuchen die Einflüsse von Justagetoleranzen typischer Kondensoren, deren innerer Aufbau bekannt oder rekonstruiert wurde, in einem kommerziellen Interferometers sowohl experimentell als auch mit einem theoretischen Interferometermodell. und zeigen die zu erwartenden Fehler in Abhängigkeit von Aufbau und Korrektionszustand des Kondensors (Aberration im einfachen Durchgang, Sinusbedingung, Feldkorrektur) auf.