Fourier-Scatterometrie zur Charakterisierung von sub-lambda Zwei-Photonen-Polymerisations-strukturierten Kreuzgittern

Die Scatterometrie hat sich als eine der wichtigsten Methoden zur Prozesskontrolle in der Halbleiterindustrie etabliert. Die präzise und schnelle optische Charakterisierung von periodischen sub-lambda Strukturen ist aber auch in anderen Bereichen wichtig. Wir stellen die Methode der Fourier-Scatterometrie vor und zeigen ihre Anwendung zur Charakterisierung von periodischen sub-lambda Kreuzgittern aus photosensitivem Material, die mittels Zwei-Photonen-Polymerisation hergestellt wurden. Mit Hilfe von Simulationen wird zunächst die Empfindlichkeit der Methode auf verschiedene Strukturparameter untersucht. Dabei wird das am Institut für technische Optik entwickelte Simulationstool MICROSIM zur rigorosen Simulation der Beugung an den Strukturen verwendet. Ebenfalls werden verschiedene Messkonfigurationen und Abwandlungen der Fourier-Scatterometrie auf ihre Empfindlichkeit untersucht, u.a. die Erweiterung der Methode durch die Verwendung von Weisslicht sowie der Linnik-Interferometrie. Die experimentelle Realisierung sowie erste Vergleiche von Simulation und Messung in Hinblick auf die Rekonstruktion der gesuchten Strukturparamter werden vorgestellt.