Einsatz von bidirektionalen Mikrodisplays in der Messtechnik

Konventionelle optische Messsysteme basieren auf separierter Projektions- und Kameratechnik. Der Einsatz von neuartigen opto-elektronischen Bauelementen - sogenannte bidirektionalen Mikrodisplays (BiMid) - verspricht ein großes Potential zur Miniaturisierung von Messsystemen. Diese Elemente ermöglichen die Kombination von OLED zur Lichterzeugung sowie Photodioden (PD) zur Detektion auf einem äußerst kompakten Bauelement. Eine erste Anwendung soll hierbei ein Positions- und Neigungssensor basie-rend auf dem Prinzip eines "invers" konfokalen Sensors darstellen. Hierbei wird das von den OLED-Pixeln emittierte Licht in die Fokusebene abgebildet und die Reflexion von den integrierten PD detektiert. Befindet sich die Messebene im Fokus, so kann keine Energie detektiert werden, da das Licht in sich selbst auf die OLED-Pixel zurückreflektiert wird. Bei axialer Verschiebung der Messebene wird eine Energie detektiert. Der Einsatz von BiMiDs ermöglicht somit einen kompakten konfokalen Flächensensor. Systemkonzept sowie Realisierung werden vorgestellt.