Multisensortechnologie mit der Nanopositionier- und Nanomessmaschine

Der Anforderungen an die Präzisionmesstechnik werden, durch den Fortschritt der Präzisionsfertigungstechnologien, wie z.B. der Optiktechnologie und der Halbleitertechnologie bestimmt, zunehmend komplexer. Die Nanopositionier- und Nanomesstechnik stellt hier ein leistungsfähiges Werkzeug dar. Durch die Kombination von optischen Punkt- wie auch Array-Sensoren, von taktilen Messtastern und Rastersondentechniken können komplexe multiskalige Messaufgaben mit Nanometerpräzision effektiv gelöst werden. Die Konsistenz der Messungen verschiedener Antastprinzipien und Sensoren ist dabei von immenser Bedeutung für die Weiterentwicklung der Nanomesstechnik. Auf der Basis eines Laserfokussensors konnten erste Ansätze für ein Multisensorkonzept gezeigt werden. Die Anwendung auf die großflächige Messung (25 x 25 mm2) von <100 nm Strukturen durch eine Kombination von optischer Mikroskopie, nanometergenauer Stitching-Technologie, daran anschließender automatischer Segmentierung der Oberflächenmerkmale, gefolgt von einer gezielten Rastersondenmessung in ausgewählten kleinen Bereichen demonstriert die Leistungsfähigkeit.