Deflektometrische Selbstkalibrierung für spiegelnde Objekte
Institute of Optics, Information and Photonics, University of Erlangen-Nuremberg
evelyn.olesch@physik.uni-erlangen.de
Abstract
Phasenmessende Deflektometrie (PMD) ist inzwischen eine etablierte Methode, um spiegelnde Oberflächen zu vermessen. Die lokale Genauigkeit der primären Messgröße, der Neigung, ist dabei extrem hoch. Um aber die globale Form zu erhalten, müssen die Neigungsdaten integriert werden. Jede Integration verstärkt jedoch systematische Fehler. Deshalb ist eine hochgenaue Kalibrierung für die Deflektometrie essentiell. Im letzten Jahr wurde eine solche neue Kalibriermethode vorgestellt [1]: Messungen eines ebenen Spiegels in verschiedenen Positionen sind dabei ausreichend, um alle Kalibrierparameter zu ermitteln. Nun wird eine Erweiterung dieser Methode vorgestellt: Sie ist mit jedem beliebigen spiegelnden Objekt möglich. Dessen Geometrie muss nicht einmal bekannt sein; sie fällt als Teilergebnis des Verfahrens mit ab. Dies erlaubt es sogar, mit unkalibrierten Aufbauten quantitative Messungen durchzuführen. Wird das neue Verfahren nur zur Nachkalibrierung der Sensorgeometrie verwendet, so reicht nun eine einzige Messung eines gekrümmten Objektes bekannter Geometrie aus. Die neue Methode stellt eine weitreichende Verbesserung für den Anwender dar. [1] E. Olesch et al.; Proc. DGaO 2010, P33