Minimierung chromatischer Passemessfehler bei kurzkohärenter Interferometrie

Zur interferometrischen Passemessung planparalleler Prüflinge eignen sich kurzkohärente Lichtquellen großer spektraler Linienbreite wie z.B. Superlumineszenz-Dioden. Eine Schwierigkeit aufgrund der endlichen Kohärenzlänge der Lichtquelle (einige 10 µm) ist dabei der korrekte Abgleich der optischen Weglängen in Referenz- und Prüflingsarm des Interferometers. Insbesondere bei der unkompensierten Messung nicht planer Prüflinge führt eine Abweichung vom idealen Abgleich zu systematischen Fehlern bei der Passemessung. Die Messfehler rühren daher, dass die Lichtquelle ein typischerweise einige 10 nm breites Spektrum emittiert, bei der Phasenauswertung aber eine feste Wellenlänge (Schwerpunkt oder Zentrum des Spektrums) angenommen wird. Dieser Effekt kann genutzt werden, um den optimalen Abgleich von Referenz- und Prüflingsarm experimentell zu bestimmen und damit systematische Fehler bei der Passemessung zu minimieren. Es wird die Ursache der systematischen Passemessfehler und ihre Auswirkung an einem Beispiel dargestellt und beschrieben, wie durch gezielte Verstimmung des Interferometers der ideale Abgleich von Referenz- und Prüflingsarm experimentell ermittelt werden kann.