Frequenzkamm Beleuchtung für Fizeau-Interferometer zur Ausschaltung von Störinterferenzen

Beim Testen von optischen Flächen mit einem Zweistrahlinterferometer treten häufig störende Interferenzmuster auf, die hauptsächlich durch Reflexe von Grenzflächen im Strahlengang auftreten. Hier soll ein Verfahren besprochen werden, welches mit der Beleuchtung eines Fizeau-Interferometers mit einem gefilterten Frequenzkamm [1] arbeitet. Dabei wird breitbandiges Licht mit einem Fabry-Perot gefiltert. Es kann gezeigt werden, dass dabei durch passende Wahl der Cavity-Längen von FP und Fizeau kontrastreiche Zweistrahlinterferenzen erzeugt werden können, die frei sind von den oben angeführten Phasen-Störungen. Insbesondere trifft das auch auf nicht eliminierbare Reflexe beispielsweise von einer Planparallel-Platte bei Homogenitätstests zu. Mit der Frequenzkammtechnik lässt sich bei Homogenitätstest [2] ohne die Anwendung von Immersionsflüssigkeiten eine Reduktion der notwendigen Relativmessungen von 4 auf 3 Mess-Schritte erreichen. [1] J. Schwider; "Superposition fringes for profiling applications"¸ Proc. SPIE 6616 p.59, (2007). [2] J. Schwider, et al.; Appl.Opt. 24, 3059-3061 (1985)