Aspekte zur Berechnung der lokalen Absorption mit der RCWA

Die präzise Berechnung der lokalen Absorption spielt eine wichtige Rolle in der Lithographie und im Design von Photodetektoren. Wir stellen eine rigorose Methode zur Berechnung der lokalen Absorption in periodischen Strukturen vor. Die Methode basiert auf der Berechnung elektrischer Felder innerhalb dieser Strukturen mit dem Verfahren der Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA). Da die Standarddefinition für die lokalen Felder in der RCWA keine befriedigende Lösung liefert, haben wir eine von Lalanne vorgestellte Methode [J. Modern Opt. 45, 1357 (1998)] modifiziert. Die Ergebnisse, die mit dieser Modifikation erzielt wurden, zeigen eine sehr gute Übereinstimmung mit den Gesetzen der Energieerhaltung. Wir stellen außerdem einige Beispiele vor, die typische Anwendungsszenarien in Lithographie und Detektordesign sind.