Interferometrie mit ultrakurzen Terahertz-Pulsen

Anika Brahm, A. Weigel, Stefan Riehemann, Gunther Notni, Andreas Tünnermann
  1. Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF, Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering IOF

anika [dot] brahm [at] iof [dot] fraunhofer [dot] de

Es werden erste Ergebnisse zu einem Interferometrieverfahren mit ultrakurzen Terahertz (THz)-Pulsen vorgestellt. Das Verfahren ist für Materialien geeignet, welche im THz-Bereich reflektieren (Metalle, Silizium, hochbrechende Kunststoffe, Keramiken), sowie für Schichtsysteme deren Grenzflächen mit THz-Pulsen charakterisiert werden können. Der Systemaufbau orientiert sich an einem Michelson-Interferometer zur tiefenaufgelösten Untersuchung von Probenstrukturen in Reflexion. Durch den erzeugten Phasenversatz zwischen Proben- und Referenzarm werden die reflektierten THz-Pulse destruktiv überlagert. In Abhängigkeit des Wegunterschieds zwischen Referenz- und Probenarm ergibt sich ein summierter Amplitudenwert, welcher anhand einer Kalibrierkurve der Probenstruktur zugeordnet wird. Mit der Interferometrie von ultrakurzen THz-Pulsen können Strukturen von mindestens 5 µm mit erhöhtem dynamischem Bereich aufgelöst werden.

Download PDF
@inproceedings{brahm2011b34,
  author     = {Brahm, Anika and Weigel, A. and Riehemann, Stefan and Notni, Gunther and Tünnermann, Andreas},
  title      = {{Interferometrie mit ultrakurzen Terahertz-Pulsen}},
  booktitle  = {DGaO-Proceedings 2011},
  series     = {DGaO-Proceedings},
  eventtitle = {112. Jahrestagung der DGaO},
  eventdate  = {2011-06-15/2011-06-18},
  venue      = {Ilmenau},
  publisher  = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
  year       = {2011},
  pages      = {B34},
  langid     = {ngerman},
  url        = {https://dgao-proceedings.de/paper/112-b34}
}
112. Annual Conference of the DGaO · Ilmenau · 2011