Polarisationsselektive InP MOEMS Filter mit Photonischen Kristallen

Mikrosystemtechnisch hergestellte Fabry-Pérot Filter, bestehend aus InP/Luftspalt Spiegeln und einer Kavität, werden von uns in Hinsicht auf polarisationsselektive Eigenschaften entwickelt. Hierfür wurde zuerst eine einzelne, freistehende InP Schicht untersucht, deren Ergebnisse als Grundlage für das Filterbauelement dienen. Die polarisationsselektive Transmission wird hierbei mit Hilfe der Resonanz geführter Moden erreicht. Die hochbrechende Halbleiterschicht hat die Eigenschaften eines Schichtwellenleiters, der nun mit einer Photonischen Kristallstruktur versehen wird, so daß eine vertikal einfallende Welle ein- und wieder auskoppeln kann. Um die Kopplung der Polarisationskomponenten zu beeinflussen, wird die Symmetrie des Gitters durch elliptische Basiselemente gebrochen. Numerische Berechnungen mit einem leistungsstarken 3D FEM Solver wurden für den Entwurf der Struktur durchgeführt. Herstellung der Filter erfolgt mittels MEMS Technologie, die Photonischen Kristalle werden mit Hilfe einer FIB in eine Hardmaske geschrieben und anschließend durch RIE in die InP Schicht übertragen. Die optische Charakterisierung der Bauelemente zeigt deutliche Polarisationseigenschaften.