Monolithisches Fertigungskonzept für die kostengünstige Herstellung optischer Mikrosysteme

Die heutigen Übertragungssysteme fordern eine kompakte Integration von optischen und elektronischen Mikrosystemen um Datenraten von mehreren hundert Gigabit pro Sekunde erreichen zu können. Kommerziell erhältliche elektronische Systeme wie VCSELs, Lasertreiber, Photodioden und Transimpedanzverstärkern sind für bis zu 10 Gbit/s tauglich. Um höhere Datenraten über optische Wellenleiter übertragen zu können, ist eine Parallelübertragung in mehreren Kanälen notwendig. Die Fabrikation von mehrkanaligen optischen Kopplern durch Replikation von Metallmastern hat sich als eine effiziente, präzise und kostengünstige Methode erwiesen. In Hinblick auf Massenproduktion tauchen jedoch zusätzliche und neue Anforderungen auf. Die Herstellungsmethoden aus wenigen einfachen Teilschritten bestehen, die Justierung soll schneller erfolgen und die Fabrikation soll insgesamt kostengünstiger werden. Wir schlagen eine neuartige Methode vor, welche die Integration, Herstellung und Justage von mikrooptischen Bauteilen vereinfacht. Diese Methode berücksichtigt die Möglichkeit zur Automatisierung des Herstellungs- und Justierungsprozesses und ist somit eine kostengünstige Variante.