Grundlagen laserinterferometrischer Präzisionsmessgeräte

Auf der Grundlage der Interferenz ebener Lichtwellen werden zunächst die Heterodyne-Verfahren (Zweifrequenz-Verfahren) behandelt. Bei Heterodyne-Verfahren ändert sich das Interferenzbild mit der Differenzfrequenz und enthält die sogenannte synthetische Wellenlänge. Homodyne-Verfahren verwenden nur eine Frequenz (Einfrequenz-Verfahren).Beide Verfahren kommen in Forschung, Technik und Industrie zur Anwendung. Mittels einer metrologischen Analyse werden Möglichkeiten und Grenzen laserinterferometrischer Längenmessverfahren aufzeigt. Neben den hohen Auflösungen dieser Verfahren müssen die Messunsicherheiten betrachtet werden, welche die Limits deutlich werden lassen. Die Meterdefinition von 1983 stellt einen Fortschritt zur Reduzierung der Fehlergrenzen laserinterferometrischer Längenmessungen dar. Bei dem Bestreben nach möglichst kleinen Messunsicherheiten laserinterferometrischer Längenmessungen spielt die Einhaltung des Abbe-Komparatorprinzips eine wichtige Rolle.