Variable Beleuchtungssysteme - Konzepte und Limitationen am Beispiel Lithographie

Beleuchtungssysteme sind das Bindeglied zwischen den meist unveränderbaren Eigenschaften der Lichtquelle und den gewünschten Anforderungen am Beleuchtungsort. Insbesondere bei Systemen die eine möglichst hohe Effizienz, also geringe Verluste erfordern, ergeben sich durch die Lichtquelleneigenschaften verschiedenartige Randbedingungen an das optische Design und die Auswahl von Misch- und Optikkomponenten. Systeme mit variablen optischen Eigenschaften stellen dabei besonders hohe Anforderungen an den Beleuchtungs-Designer. Am Beispiel von variablen Beleuchtungssystemen der optischen Lithographie werden Systemkomponenten diskutiert sowie der Einfluss der Lichtquelle auf das Systemkonzept verdeutlicht. Die Erkenntnisse lassen sich auf andere Anwendungsbereiche wie zum Beispiel strukturiere Beleuchtung oder Materialbearbeitungssysteme übertragen.