Variation des Prestonkoeffizienten in Abhängigkeit der Relativgeschwindigkeit im Polierprozess

In der traditionellen Herstellung von Linsen findet ein Polierprozess Verwendung, um die raue Oberfläche der Linse zu glätten sowie die Oberflächenfehler des Schleifprozesses zu korrigieren. Bei rotationssymmetrischen Oberflächen dreht sich dabei, zusätzlich zum Polierwerkzeug, die zu polierende Oberfläche. Laut Preston ist der Einfluss unterschiedlicher Relativgeschwindigkeiten auf den Volumenabtrag der Politur bei vollflächig aufliegenden Werkzeugen vernachlässigbar. Bei Verwendung von Subaperturwerkzeugen ist diese Annahme nicht mehr haltbar und eine Berücksichtigung in der Optimierung des Polierabtrags notwendig. Die, zurzeit in der Industrie verbreiteten Simulations- und Optimierungsprogramme, verwenden oftmals eine von der Position unabhängige Abtragsfunktion und sind damit nur mit Einschränkungen für die Optimierungsrechnung der Politur rotationssymmetrischer Linsen geeignet. Dargestellt werden ein Verfahren zur Messung der Variation des Prestonkoeffizienten in Abhängigkeit der Relativgeschwindigkeit, die Korrektur sowie die Erprobung in praktischen Polierversuchen.