Mikrostrukturierung senkrechter Kanalwände mittels Talbot-Effekt

Mikrostrukturierte Kanalwände als integrierte Funktionsoberflächen sind zur Erhöhung der Funktionalität und Kompaktheit optofluidischer Mikrosysteme von großem Interesse. Wird ein Gitter mit einer ebenen Welle beleuchtet, entstehen dahinter die Talbot Selbstabbildungen des Gitters in definierten periodischen Abständen. Mit Hilfe dieses sogenannten Talbot-Effekts ist es möglich, periodische Strukturen auf senkrechten Kanalwänden zu erzeugen. Wir präsentieren die Herstellungsmöglichkeit solcher Strukturen in Kanalwänden. Eine große technologische Anforderung liegt in der gleichmäßigen Beschichtung des Fluidikkanals mit Fotolack, was durch optimierte Sprühbelackungsprozess ermöglicht ist. Mit einer angepassten Maske und Belichtungskonfiguration werden Gitterstrukturen mit definiertem Abstand und präziser Positionskontrolle auf beiden senkrechten Wänden des Kanals erzeugt. Auf diese Weise entsteht ein Interferometer das z.B. als hochempfindlicher Partikelsensor Anwendung findet.