Freiformmessungen an einem Tilted-Wave-Interferometer

Wir stellen Präzisionsmessungen von Freiformflächen mit Hilfe eines Tilted-Wave-Interferometers vor. Ein Mikrolinsenarray ermöglicht es, den Prüfling gleichzeitig mit mehreren verkippten Wellenfronten zu beleuchten. Dadurch ergeben sich kurze Messzeiten von wenigen Minuten. Dies macht das Verfahren für einen Einsatz direkt in der Fertigungskette interessant. Die Berechnung der Form erfolgt über einen Variationsansatz und die numerische Lösung eines inversen Problems. Zusätzlich ist die Methode in der Lage, auch höherfrequente Abweichungen vom Prüflingsdesign zu quantifizieren. Dabei wird keinerlei Rotationssymmetrie des Prüflings vorausgesetzt, was es ermöglicht, neben Asphären auch Freiformen zu vermessen. In experimentellen Ergebnissen werden typische Formfehler sowie hochfrequente Abweichungen identifiziert. Als zusätzliches Benchmark werden den Resultaten Messungen aus taktilen Methoden gegenübergestellt.