Design des Verschiebeinterferometers zur Bestimmung der Gitterkonstante von Silizium mit einer relativen Unsicherheit von 3•10-9
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig, Germany
Abstract
Für die Rückführung der Gitterkonstante von Silizium im Rahmen des Avogadro Projektes ist es erforderlich die Verschiebung einer Lamelle eines Röntgeninterferometers über eine Strecke von 10 mm mit einer Unsicherheit von 30 pm zu vermessen. Um diese Unsicherheit zu erreichen, werden neben einer entsprechenden Auflösung des Phasenmeters auch erhöhte Anforderungen an die zeitliche Stabilität und den Einfluss von Nichtlinearitäten gestellt. Das Design des dafür vorgesehenen heterodyn Interferometers beruht auf einer getrennten Strahlzuführung zur Vermeidung periodischer Nichtlinearitäten. Es wird anhand vorausgegangener Vergleichsmessungen gezeigt, dass diese eine Amplitude kleiner als 10 pm aufweisen können. Die Interferometer werden in einer Vakuumkammer betrieben. Zusätzlich befindet sich der Referenzspiegel des Interferometers auf dem Röntgeninterferometer um den Totwegeinfluss zu minimieren. Außerdem beinhaltet das Konzept ein Referenzinterferometer, welche die durch die Verwendung von zwei Fasern eingeprägten Phasenschwankungen und mögliche Verkippungen zwischen dem Optischen und dem Röntgeninterferometer automatisch kompensiert.
Keywords
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