Die Nutzung des Twymaneffektes in der Dünnschichttechnologie

In der optischen Fertigungstechnologie werden Oberflächenspannungen, verursacht u.a. durch nicht vollständig auspolierte Tiefenbeschädigungen, mit Hilfe des Twymaneffektes vermessen. Durch beidseitiges ätzen wird hierbei zunächst die gesamte Oberflächenspannung eines Glasplättchens entfernt und dessen Topographie interferometrisch vermessen. Anschliessend wird eine Seite geschliffen, wobei die eingebrachte Oberflächenspannung eine Durchbiegung des Testsamples bewirkt. Mittels des von Twyman gefundenen Formalismus wird dann aus dem Krümmungsradius die vorhandene Oberflächenspannung berechnet. Der Twymaneffekt lässt sich jedoch auch dann nutzen, wenn die Verspannung der Oberfläche durch das Aufbringen von dünnen Schichten verursacht wurde. Im Rahmen dieses Vortrages wird die industrielle Anwendung des Twymaneffektes zur Vermessung und Optimierung von dünnen Schichten präsentiert. Dies ermöglicht eine optimale Abstimmung von Simulation und Praxis in der Beschichtungstechnologie und stellt ein effizientes und preiswertes Messverfahren zur Produktionssteuerung dar.