Absolutverfahren zum Nulltest asphärischer Linsen im Durchlicht

Die Vermessung asphärischer Linsen ist sowohl wissenschaftlich wie industriell trotz etablierter Methoden immer noch ein aktuelles Thema. Anders als bei Auflichtverfahren wird bei Nulltests im Durchlicht die gesamte optische Wirkung des Prüflings bezüglich der Sollwirkung eines Nullelements ermittelt. Dabei wird meist ein diffraktiv optisches Element als Nullelement eingesetzt. Um höhere Genauigkeiten zu erzielen, müssen die Fehler des Nullelements und des Interferometers im Rahmen eines Absolutverfahrens von den von der asphärischen Linse eingeführten Aberrationen getrennt und unter Hinzunahme weiterer Messpositionen aus den Messdaten eliminiert werden. Neben seiner Funktion als Nullelement stellt in unserem Verfahren das DOE hierbei eine weitere, sphärische Wellenfront bereit, mit deren Hilfe die benötigten Messpositionen realisiert werden können. Damit ist es nun möglich, die Einzelbeiträge der Fehlerbudgets getrennt voneinander zu ermitteln. Es wird ein Messsystem zur hochgenauen Vermessung rotationssymmetrischer, asphärischer Linsen im Durchlicht vorgestellt und charakterisiert. Weiterhin werden die Ergebnisse der systematischen Aberrationen einzelner Komponenten diskutiert.