OPO-basiertes System zur hochsensitiven winkel- und wellenlängenaufgelösten Streulichtmessung

Die genaue Untersuchung von Streulichteigenschaften spielt eine immer wichtigere Rolle insbesondere bei der Charakterisierung optischer Oberflächen und Schichten. Vorhandene Präzisions-Streulichtmesssysteme sind allerdings bisher auf diskrete Laserwellenlängen beschränkt, obgleich viele Streulichtmechanismen starke Wellenlängenabhängigkeiten aufweisen. Um diese gezielt analysieren zu können, wird derzeit am Fraunhofer IOF ein neues System für hochsensitive winkel- und wellenlängenaufgelöste Messungen in einem Bereich von 250 nm - 1500 nm basierend auf einem breitbandig durchstimmbaren Laser (OPO) entwickelt. Die Implementierung eines breitbandig sensitiven Detektorsystems bei gleichzeitig kompakter Bauform stellt dabei eine der speziellen Herausforderung dar. Zur Lösung wird ein mehrkanaliger Ansatz mit Aufsplittung in einzelne Wellenlängenbereiche sowie eine geeignete Kombination verschiedener Detektoren verfolgt. Das Messsystem und das Detektorkonzept werden vorgestellt und erste Ergebnisse präsentiert.