Entwicklung eines scannenden Mikroskops mit diffraktiven Mikrolinsen
- Chair of Optoelectronics, Institute of Computer Engineering, Heidelberg University
brenner [at] ziti [dot] uni-heidelberg [dot] de
Durch ein neuartiges Entwurfsverfahren können überlappende diffraktive Mikrolinsen mit großem Arbeitsabstand und einer numerischen Apertur von nahezu 1 in hoher Packungsdichte realisiert werden. Hiermit wurde ein Scanmikroskop aufgebaut, welches in einem Bildfeld von ca. 6x4 mm Bilder mit einer Auflösung von 1 µm liefert. Der Vortrag berichtet über den Entwurf des optischen Systems und erste experimentelle Ergebnisse. Weiterhin wird ein Ausblick auf Systemerweiterungen gegeben, welche durch Steigerung der Lithographieauflösung oder durch Modifikation der Pupillenverteilung der diffraktiven Linsen ermöglicht werden.
@inproceedings{brenner2013b24,
author = {Brenner, Karl-Heinz and Azizian, M.},
title = {{Entwicklung eines scannenden Mikroskops mit diffraktiven Mikrolinsen}},
booktitle = {DGaO-Proceedings 2013},
series = {DGaO-Proceedings},
eventtitle = {114. Jahrestagung der DGaO},
eventdate = {2013-05-22/2013-05-25},
venue = {Braunschweig},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
year = {2013},
pages = {B24},
langid = {ngerman},
url = {https://dgao-proceedings.de/paper/114-b24}
}
114. Annual Conference of the DGaO · Braunschweig · 2013