Entwicklung eines scannenden Mikroskops mit diffraktiven Mikrolinsen
Lehrstuhl für Optoelektronik, ziti, Universität Heidelberg
brenner@ziti.uni-heidelberg.de
Abstract
Durch ein neuartiges Entwurfsverfahren können überlappende diffraktive Mikrolinsen mit großem Arbeitsabstand und einer numerischen Apertur von nahezu 1 in hoher Packungsdichte realisiert werden. Hiermit wurde ein Scanmikroskop aufgebaut, welches in einem Bildfeld von ca. 6x4 mm Bilder mit einer Auflösung von 1 µm liefert. Der Vortrag berichtet über den Entwurf des optischen Systems und erste experimentelle Ergebnisse. Weiterhin wird ein Ausblick auf Systemerweiterungen gegeben, welche durch Steigerung der Lithographieauflösung oder durch Modifikation der Pupillenverteilung der diffraktiven Linsen ermöglicht werden.
Keywords
Mikrooptik
Optische Systeme
Mikroskopie
@inproceedings{dgao114-b24,
title = {Entwicklung eines scannenden Mikroskops mit diffraktiven Mikrolinsen},
author = {K.-H. Brenner, M. Azizian},
booktitle = {DGaO-Proceedings, 114. Jahrestagung},
year = {2013},
publisher = {Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik e.V.},
issn = {1614-8436},
note = {Talk B24}
}
114. Annual Conference of the DGaO · Braunschweig · 2013