Das Prinzip der verkippten Wellenfronten: Vorteile und Herausforderungen für die Asphärenmesstechnik

Nur was man messen kann, kann man herstellen. Diese oft zitierte Aussage umschreibt sehr treffend das Gebiet der Asphärenherstellung in seinem Wechselspiel von Fertigungs- und Charakterisierungsfortschritt. Mit zunehmendem Automatisierungsgrad und damit einhergehend der erreichbaren Qualität in der Fertigungstechnologie steigen die Anforderungen an die begleitende Messtechnik. Dabei ist in der Regel nicht mehr die reine Machbarkeit im Fokus, sondern Faktoren, die Verbesserungen in der Wirtschaftlichkeit versprechen: höhere Flexibilität, hohe Messgeschwindigkeit bei gleichzeitig hoher lateraler Auflösung und geringer Messunsicherheit. Verschiedene Messprinzipien stellen sich dieser Herausforderung. Das in den letzten Jahren vorgestellte Prinzip der verkippten Wellenfronten (tilted wave interferometry TWI) wurde für aktuelle Anforderungen in der fertigungsnahen Asphären- und Freiformflächenmesstechnik erdacht und soll in diesem Kontext näher betrachtet werden.